Термическое оксидирование InP, модифицированного нанесенными композициями оксидов NiO+PbO,V2O5+PbO

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

Глава I. Воздействие хемостимуляторов и их композиций на кинетику и механизм оксидирования Фосфида индия (обзор литературы)

1.1. Термическое оксидирование фосфида индия в кислороде

1.2. Термическое оксидирование фосфида индия под воздействием 18 хемостимуляторов

1.3. Эффект совместного воздействия композиций оксидов- 23 хемостимуляторов, вводимых через газовую фазу

1.4. Термооксидирование 1пР под воздействием индивидуальных 29 нанесенных оксидов.

1.4.1. Термооксидирование структур PbO/InP

1.4.2. Особенности оксидирования структур NiO/InP

1.4.3. Каталитическое термооксидирование структур VjO/InP

1.5. Наноразмерные материалы и их свойства

1.5.1. Терминология и классификация наноматериалов

1.5.2. Температура плавления

1.5.3. Параметры кристаллической решетки

1.5.4. Реакционная способность

1.6. Выбор объектов исследования 41 Глава П. Методика формирования, термоокеидирования и

исследования свойств гетероструктур (NiO +РЬО)/1пР и (V205+Pb0)/InP

2.1. Исходные материалы и предварительная обработка

2.2. Обзор свойств использованных в исследовании оксидов 48 металлов

2.2.1. Свойства оксидов свинца.

2.2.2. Свойства оксидов никеля

2.2.3. Свойства оксидов ванадия



2.3 Формирование композитных наноразмерных пленок

хемостимулятора

2.3.1 Особенности ионно-реактивного синтеза и ионно- 56 стимулированное газофазное осаждение

2.3.2 Технический аспект получения композитных нанопленок 60 методом магнетронного напыления

2.4. Методика окисления

2.5. Обработка кинетических данных.

2.6. Методы исследования

2.6.1. Одноволновая лазерная и спектральная эллипсометрия

2.6.2 Растровая электронная микроскопия (РЭМ)

2.6.3 Сканирующая туннельная микроскопия (СТМ)

2.6.4. Рентгенофазовый анализ (РФА)

2.6.5. Инфракрасная спектроскопия (ИКС)

2.6.6. Ультрамягкая рентгеновская эмиссионная 90 спектроскопия (УМРЭС)

2.6.7. Локальный рентгеноспектральный микроанализ (ЛРСМА)

2.6.8. ОЖЕ-электронная спектроскопия (ОЭС)

2.6.9. Электрофизические исследования

Глава III. Термоксидирование гетероструктур (РЬО+1МО)/1иР

разного состава.

Глава IV. Каталитическое оксидирование гетероструктур

(РЬ0+У205)/1пР разного состава.

Глава V. Обсуждение результатов

ВЫВОДЫ

СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЕ

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ

МЛЭ — молекулярно-лучевая эпитаксия ЭЭА — эффективная энергия активации РЭМ — растровая электронная микроскопия СТМ — сканирующая туннельная микроскопия АСМ — атомно-силовая микроскопия ИКС — инфракрасная спектроскопия

РФА — рентгенофазовый анализ, рентгеновская дифракция

УМРЭС — ультрамягкая рентгеновская эмиссионная спектроскопия.

ЛРСМА — локальный рентгеноспектральный микроанализ

ОЭС — Оже-электронная спектроскопия

ВИМС — вторичная ионная масс-спектрометрия

ИАЦ — искусственные активные центры

ВЭ — вторичные электроны



нанометрового масштаба возникает новое качество, или это качество возникает в композиции из таких объектов, то эти образования следует отнести к наноматериалам, а технологии их получения и дальнейшую работу с ними к нанотехнологиям.

В соответствии с приведенными данными наноматериалы можно разделить на четыре основные категории.

Первая категория включает материалы в виде твердых тел, размеры которых в одной, двух или трех пространственных координатах не превышают 100 нм. К таким материалам можно отнести наноразмерные частицы (нанопорошки), нанопроволоки и нановолокна, очень тонкие пленки (толщиной менее 100 нм), нанотрубки и т.п. Такие материалы могут содержать от одного структурного элемента или кристаллита (для частиц порошка) до нескольких их слоев (для пленки). В связи с этим первую категорию можно классифицировать как наноматериалы с малым числом структурных элементов или наноматериалы в виде наноизделий.

Вторая категория включает в себя материалы в виде малоразмерных изделий с характеризующим размером в примерном диапазоне 1 мкм...1 мм. Обычно это проволоки, ленты, фольги. Такие материалы содержат уже значительное число структурных элементов и их можно классифицировать как наноматериалы с большим числом структурных элементов (кристаллитов) или наноматериалы в виде микроизделий.

Третья категория представляет собой массивные (или иначе объемные) наноматериалы с размерами изделий из них в макродиапазоне (более нескольких мм). Такие материалы состоят из очень большого числа наноразмерных элементов (кристаллитов) и фактически являются поликристаллическими материалами с размером зерна 1-100 нм. В свою очередь, третью категорию наноматериалов можно разделить на два класса.

В первый класс входят однофазные материалы (в соответствии с терминологией [37] микроструктурно однородные материалы), структура и/или химический состав которых изменяется по объему материала только на