Летучие соединения гафния(IV) и циркония(IV) : синтез, структура, свойства

1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР

1.1. Основные классы летучих координационных соединений гафния(1У)

и циркония(1У)

1.1.1. Соединения со спиртами

1.1.2. Соединения с монокарбоновыми кислотами

1.1.3. Соединения с азотсодержащими органическими лигандами

1.1.3.1. Соединения с аминами

1.1.3.2. Соединения с производными гидразина

1.1.3.3. Соединения с гидроксиламинами

1.1.4. Соединения с циклопентадиеном

1.1.4.1. Алкоксиды металлоценов(ГУ)

1.1.4.2. Алкиламиды металлоценов(ГУ)

1.1.4.3. Карбоксилаты металлоценов(ГУ)

1.1.4.4. Алкилы металлоценов(1 V)

1.1.4.5. Р-дикетонаты металлоценов(ГУ)

1.2. Летучие Р-дикетонаты гафния(1 V) и циркония(ГУ)

1.2.1. Методы синтеза р-дикетонатов гафния(1У) и циркония(1 V)

1.2.2. ИК-, ЯМР-спектроскопическое и масс-спектрометрическое исследование Р-дикетонатов гафния(1У) и циркония(1У)

1.2.3. Кристаллографическое и рентгеноструктурное исследование р-дикетонатов гафния(ГУ) и циркония(1У)

1.2.4. Термическая устойчивость р-дикетонатов гафния(ГУ)

и циркония(ГУ)

1.2.5. Термическое разложение паров Р-дикетонатов гафния(1У)

и циркония(1У)

1.2.6. Измерение температурной зависимости давления насыщенного пара летучих комплексов гафния(1У) и циркония(1У)

с Р-дикетонами

1.3. Использование летучих соединений гафния(1У)

в процессах осаждения оксидных покрытий

1.4. Заключение

2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ

2.1. Синтез и очистка соединений гафния(1У) и циркония(1У)

2.1.1. Исходные реагенты

2.1.2. Методики синтеза соединений

2.2. Методы исследования соединений гафния(1У) и циркония(1У)

2.2.1. Методы идентификации соединений

2.2.2. Кристаллохимические методы исследования соединений

2.2.3. Термоаналитические методы исследования соединений

2.2.4. Тензиметрические методы исследования соединений

2.2.4.1. Статический метод

2.2.4.2. Метод потока

2.2.4.3. Метод Кнудсена

2.2.4.4. Обработка результатов измерения

2.2.5. Термическое разложение паров соединений

2.3. Нанесение оксидных покрытий методом СУО

2.3.1. Условия осаждения покрытий

2.3.2. Методы исследования пленок

3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ

3.1. Синтез и идентификация соединений

3.1.1. р-дикетонаты гафния(ІУ) и циркония(ІУ)

3.1.1.1. Синтез соединений

3.1.1.2. ИК-спектроскопическое исследование соединений

3.1.1.3. ЯМР-спектроскопическое исследование соединений

3.1.1.4. Масс-спектрометрическое исследование соединений

3.1.2. Днс-циклопентадиенильные соединения гафния(ІУ)

3.2. Рентгенографическое и рентгеноструктурное исследование

Р-дикетонатов гафния(ІУ) и циркония(ГУ)

3.3. Сравнение кристаллохимических данных Р-дикетонатов гафния(ІУ)

и циркония(ГУ)

3.4. Термоаналитическое исследование комплексов гафния(ГУ)

3.5. Тензиметрические исследования соединений гафния(ГУ)

3.6. Сравнение термического поведения р-дикетонатов гафния(ІУ)

и циркония(ІУ)

3.7. Термическое разложение паров комплексов гафния(ІУ)

3.8. Получение и исследование пленок диоксида гафния

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ И ВЫВОДЫ

ЛИТЕРАТУРА

БЛАГ ОДРНОСТИ

ПРИЛОЖЕНИЕ

Количество вещества, перешедшего в газовую фазу, и количество вещества, сконденсированного в холодной зоне, определяли взвешиванием (погрешность ±0,0005 г). Относительная погрешность метода не превышала ±5%.

Расчет парциального давления паров с учетом данных о молекулярном составе газовой фазы, полученных из масс-спектрометрического исследования, производили по уравнению:

Р = /Wn/(n+N),

где п - количество перенесенного вещества в молях, N - количество газа-носителя в молях, Робщ - общее давление в системе. Расчет проводили в предположении мономолекулярного состава газовой фазы.

Экспериментальные данные (7-29 точек) подвергали статистической обработке с использованием комплекса специальных программ, разработанных в ИНХ СО РАН [204]. Эксперименты были проведены совместно с к.х.н. Сысоевым С.В. (ИНХ СО РАН).

Рис. 5. Схема установки измерения плотности насыщенного пара методом потока.

2.2.4.З. Метод Кнудсена

Давление насыщенного пара комплексов НДбртД, Ср2Н£Ме2 и Ср2НГ(ХЕь)2 измеряли эффузионным методом Кнудсена с масс-спекгрометрической регистрацией состава газовой фазы. Подробное описание метода и оборудования представлены в [189, 206]. Эксперименты проводили на масс-спектрометре МИ-1201 с разрешающей способностью не менее 1000 на уровне 10% высоты пика