Получение неорганических покрытий пиролитическим разложением элементоорганических соединений

  • автор:
  • специальность ВАК РФ: 02.00.01
  • научная степень: Кандидатская
  • год защиты: 1984
  • место защиты: Минск
  • количество страниц: 161 c. : ил
  • стоимость: 230 руб.
  • нашли дешевле: сделаем скидку

действует скидка от количества
2 работы по 214 руб.
3, 4 работы по 207 руб.
5, 6 работ по 196 руб.
7 и более работ по 184 руб.
Титульный лист Получение неорганических покрытий пиролитическим разложением элементоорганических соединений
Оглавление Получение неорганических покрытий пиролитическим разложением элементоорганических соединений
Содержание Получение неорганических покрытий пиролитическим разложением элементоорганических соединений
Вы всегда можете написать нам и мы предоставим оригиналы страниц диссертации для ознакомления
СОДЕРЖАНИЕ
Введение .
1. Анализ опубликованных работ по вопросу термического
разложения кремнийорганических соединений с образованием диоксида кремния
1.1. Исследование процесса образования диоксида
кремния в разных газовых средах .
1.2. Влияние исходного соединения на режимы осаждения и физические характеристики диоксида кремния .
1.3. Низкотемпературные методы получения диоксида кремния
1.4. Математическое моделирование процесса термораспада ЭОС .
1.5. Выводы и задачи исследования .
2. Моделирование процесса осаждения диоксида кремния из
тетраэтоксисилана
2.1. Физикохимическая модель процесса термораспада тетраэтоксисилана .
2.2. Математическая модель процесса образования неорганических покрытий из парогазовой смеси
2.3. Граничные условия
2.4. Метод решения
2.5. Определение физичебких свойств многокомпонентной парогазовой смеси .
2.6. Анализ влияния константы скорости реакции термораспада тетраэтоксисилана на процесс осаждения диоксида кремния
3. Определение константы скорости термического разложения
элементоорганических соединений в открытой системе .
3.1. Импульсная проточная система для изучения макрокинетики термораспада ТЭОС
3.2. Влияние природы поверхности на скорость реакции термораспада этилферроцена .
3.3. Температурные зависимости константы скорости термораспада элементоорганических соединения в открытой системе .
4. Исследование процесса осаждения диоксида кремния в реакторе проточного типа .
4.1. Описание экспериментальной установки .
4.2. Влияние параметров процесса на скорость осаждения диоксида кремния .
4.3. Оценка плотности и структурной однородности диоксида кремния .
4.4. Сравнение результатов экспериментов по наращиванию диоксида кремния с теоретическим расчетом
5. Метод определения констант скоростей и механизма
термораспада ЭОС .
5.1. Определение кинетических констант термораспада
5.2. Определение механизма термораспада ЭОС .
Основные выводы .
Условные обозначения .
Литература


Слева от щели, прямо над ней в реакторе располагается кварцевая пластина, которая вместе с выдвижной лодочкой, скользящей по стенкам трубы, образует участок прямоугольного сечения размером 0 х х 8 мм. В реактор через узкую щель шириной 2 мм с большой скоростью поступает реакционная смесь. Линейная скорость потока возрастает в раз. Авторы делают вывод о том, что это дает возможность иметь на значительной длине реактора за щелью постоянную концентрацию паров тетраэтоксисилана. Увеличение расхода газа вызывает смещение и расширение зоны равномерного роста, а также возрастание максимальной толщины пленки, так как количество ТЭОС, поступающего в реактор в единицу времени, увеличивается. При расходе газаносителя 00 лч проводили исследования влияния температуры синтеза и температуры испарения ТЭОС на скорость осаждения слоев диоксида кремния на кремний и их свойства. Ухудшение свойств пленок при высоких температурах синтеза и испарения тетраэтоксисилана, по утверждению авторов, связано с большой скоростью осаждения, что приводит к формированию более рыхлой структуры пленки. При синтезе толстых пленок I мкм наблюдали их растрескивание, начиная с толщин 0,70,8 мкм. Следы трещин обнаруживали и на поверхности германия после стравливания пленки. Процесс пиролиза ТЭОС характеризуется экспоненциальной зависимостью скорости роста от температуры синтеза с энергией активации 4,7 кДжмоль. Авторы считают, что расхождение указанной величины с данными , обусловлено различиями в условиях осаждения. Повышение температуры испарителя от 9 до 3 К также сопровождается экспоненциальным увеличением скорости роста. Оптимальным режимом осаждения пленок БЮг авторы считают температуру осаждения 3 К, температуру испарителя 1 К,
расход газаносителя 00 лч, скорость осаждения 0,9 0,0 мщмин. Увеличение скорости потока газа вызывает уменьшение скорости осавдения, так как при этом меньшая часть молекул ТЭ0С успевает разложиться. В инертной среде азота и аргона энергии активаций одинаковы и составляют 3 кД дмоль, для кислорода ,5 кД дмоль . В работе для случая разложения ТЭ0С в инертной среде энергия активации равнялась 8,3 кДдмоль, а авторы указывают, что энергия активации ,8 кДжмоль. Таким образом, исследования не дают однозначного ответа на вопросы о кинетике термического разложения ТЭ0С. При достаточно больших скоростях потока газаносителя практически отсутствует зависимость скорости осаждения от скорости потока. Только при очень низких скоростях потока в результате возрастания концентрации ТЭ0С наблюдается увеличение скорости роста пленки окиси кремния. При этом пленка становится менее прозрачной, с хаотическими уплотнениями . Это может быть связано с тем, что при больших концентрациях ТЭ0С в зоне реакции в газовой фазе образуются частицы диоксида кремния, на которых гетерогенно может протекать процесс термораспада ТЭ0С с образованием крупных агрегатов диоксида кремния. Авторы 6 считают, что при наличии гомогенного распада в объеме процесс следует вести в кинетической области, где вероятность образования крупных агрегатов мала, а основная масса мелких частиц будет выноситься потоком газаносителя из зоны разложения. При малых скоростях потока азота наблюдается рост скорости осаждения окиси кремния с увеличением скорости потока азота , что хорошо согласуется с результатами авторов . Это, вероятно, объясняется тем, что процесс осаждения лимитируется процессом доставки вещества в зону разложения. При опреде
ленных скоростях потока имеет место максимум, а при дальнейшем увеличении скорости потока азота скорость осаждения падает. Авторы , основываясь на зависимости скорости роста от температуры, оценили характер происходящих при этом процессов и выделили две стадии. I к В у ,
I V В i . При температуре выше 3 К Еа ,2 кДжмоль, что указывает скорее на диффузионный характер процесса доставка образующихся радикалов к поверхности. Было сделано предположение, что диффузия сопровождается адсорбционными явлениями на поверхности подложек, в данном случае из германия.
Вы всегда можете написать нам и мы предоставим оригиналы страниц диссертации для ознакомления

Рекомендуемые диссертации данного раздела