Механизмы испарения и поглощения сурьмы из растворов-расплавов галлия и индия

  • автор:
  • специальность ВАК РФ: 05.27.06
  • научная степень: Кандидатская
  • год, место защиты: 2000, Воронеж
  • количество страниц: 102 с. : ил.
  • бесплатно скачать автореферат
  • стоимость: 240,00 руб.
  • нашли дешевле: сделаем скидку
  • формат: PDF + TXT (текстовый слой)
pdftxt

действует скидка от количества
2 диссертации по 223 руб.
3, 4 диссертации по 216 руб.
5, 6 диссертаций по 204 руб.
7 и более диссертаций по 192 руб.
Титульный лист Механизмы испарения и поглощения сурьмы из растворов-расплавов галлия и индия
Оглавление Механизмы испарения и поглощения сурьмы из растворов-расплавов галлия и индия
Содержание Механизмы испарения и поглощения сурьмы из растворов-расплавов галлия и индия
Вы всегда можете написать нам и мы предоставим оригиналы страниц диссертации для ознакомления
Глава I. Обзор литературы
1.1 Процессы кристаллизации из растворов - расплавов
1.2 Кинетика кристаллизации в растворе - расплаве
1.3 Особенности получения соединений А3В5 методом жидкофазной эпитаксии
1.4 Изотермическая жидкофазная эпитаксия
1.5 Испарение летучего компонента соединений А3В5
1.6 Закономерности процесса испарения летучего компонента
из растворов - расплавов элементов III группы
Выводы к главе I
Глава II. Методика исследований давления паровой фазы

2.1 Динамический метод измерения парциального давления паровой фазы
2.2 Измерение давления паровой фазы над растворами ва-БЬ и Ьг-БЬ и исследование зависимости давления пара сурьмы
от состава растворов - расплавов
2.3 Температурная зависимость коэффициента Генри системы
Иа-БЬ и 1п-8Ь
Выводы к главе II
Глава III. Исследование кинетики испарения пара сурьмы из растворов
расплавов Иа-8Ь и 1п-8Ь
3.1 Особенности испарения из многокомпонентной гомогенной конденсированной фазы
3.2 Кинетические модели испарения из газовой фазы

перемешиваемым раствором - расплавом молекул элементов V группы
3.3 Испарение пара сурьмы из растворов - расплавов Оа-БЬ и
Ш-БЬ в вакуум
3.4 Экспериментальные исследования активности сурьмы в расплавах галлия и индия
Выводы к главе Ш
Глава IV. Исследование кинетики поглощения пара сурьмы
растворами - расплавами галлия и индия
4.1 Кинетика поглощения пара летучего вещества конденсированной жидкой фазой
4.2 Кинетика поглощения пара сурьмы расплавами галлия в атмосфере водорода
4.3 Кинетика поглощения пара сурьмы расплавами индия в атмосфере водорода
4.4 Кинетические модели поглощения пара сурьмы индиевыми
и галлиевыми расплавами
Выводы к главе IV
Основные результаты и выводы
Литература.

Актуальность темы. В ряду полупроводниковых соединений А3В5 одно из наиболее значимых мест занимают антимониды галлия и индия. Благодаря ряду свойств эти бинарные полупроводники являются перспективными для использования в приборах микро- и оптоэлектроники. Их свойства дополняют, а в ряде случаев и превосходят широко используемые в настоящее время элементарные полупроводники - германий и кремний.
Однако необходимо перечислить ряд причин, ограничивающих в настоящее время применение антимонидов индия и галлия в микро- и оптоэлектронике. Отметим трудности получения совершенных монокристаллов и их дороговизну; восприимчивость поверхности к воздействиям различных химических веществ, а также хрупкость материалов.
Технология приборов на основе рассматриваемых соединений включает, как правило, высокотемпературные операции (эпитаксиальное наращивание пленок, диффузию примесей и т.д.), в течение которых возможно неконтролируемое испарение летучего компонента - сурьмы. В связи с этим возникают задачи теоретического обоснования параметров технологических операций, связанных с термическим воздействием на антимониды галлия и индия.
Исследование механизмов процессов испарения сурьмы из соединений Оа-БЬ и 1п-БЬ позволяет получить новые, важные сведения о системе «раствор сурьмы в расплавах галлия (индия) - паровая фаза», а именно: о лимитирующей стадии процесса испарения; о влиянии атомов сурьмы на кинетику испарения; о процессах, протекающих на поверхности испарения и в объеме раствора - расплава. Эта информация позволяет в итоге оптимизировать процессы технологических операций при получении приборных структур на основе антимонидов галлия и индия.
Наибольший интерес представляют исследования кинетики испарения и поглощения пара летучего вещества (сурьмы) растворами - расплавами галлия и индия Обобщение этих закономерностей дает информацию о физических процессах, протекающих на межфазной границе соединений А3В5

2.2. Измерение давления паровой фазы над растворами Оа - 8Ь и 1п - 8Ь и исследование зависимости пара сурьмы от состава растворов - расплавов.
Термодинамические свойства растворов сурьмы в расплавах галлия и индия достаточно подробно исследованы для области температур ниже температуры плавления бинарных соединений / 33 /.В ходе эксперимента проводилось измерение давления и состава паровой фазы над растворами сурьмы в расплавах галлия и индия в температурном интервале 1073 -1223К динамическим методом по убыли массы образцов, нагреваемых в калиброванном потоке водорода, расход которого составлял не более 0.08 моль/ч, что при площади испарения раствора в тигле, равной 2.5 см2 и объеме реактора -100 см3 обеспечивало условия равновесия между паром и раствором во время измерения. Чистота применяемого водорода исключала образование летучих окислов Оа20 и 1п20. При расчетах использовались численные значения констант равновесия К1{Т) и К 2(Т) реакций 8Ь2<->28Ь , 8Ь4<-»28Ь2 , протекающих в газовой фазе, которые в указанном температурном интервале аппроксимировались выражениями:
Кх (Т)(Па) = 1.013 105 ехр

(2.12)
Кг (Т)(Па) = 1.013 105 ехр

(2.13)

Измеренные парциальные давления Р ; Рг Р сурьмы над
чистой сурьмой составляли при
1073 К 1123 К
р[(Т) (Па)
6.2-10"

Вы всегда можете написать нам и мы предоставим оригиналы страниц диссертации для ознакомления

Рекомендуемые диссертации данного раздела